4010型产品可存储20个校准序列,每个序列最多可存储20个浓度级别。本地或远程操作可以使用前面板键盘,外部键盘,RS-232或以太网端口来操作,直观、菜单驱动的软件允许不复杂的可编程性和访问实现实时诊断。
标准配置
·稀释气质量流量控制器,0~10SLM
·源气质量流量控制器,0~100SCCM
·4个校准气输入接口和一个清洗接口
·5个输出接口和一个出风口
·1个稀释气输入接口
·高亮度彩色显示屏
·47键触摸键盘
·24位数字I/O接口
·2个串行数据通讯接口
稀释仪
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https://www.chem17.com/st399/product_27276141.html